流量控制器 美國omega流量傳感器

經濟型氣體質量流量控制器和流量計適用于潔凈氣體， FMA3100系列
經濟型氣體質量流量控制器和流量計適用于潔凈氣體， FMA3100系列:經濟型氣體質量流量控制器和流量計適用于潔凈氣體
可測量zui大流速為10 SLM
0 ~ 5 Vdc線性輸出
具成本效益
FMA3100系列質量流量傳感器代表著質量流量傳感器技術領域的突破。

*的電子器件、緊湊的機械設計以及批量生產加工理念在這一高性能、低成本的產品中集中體現。

氣體流量傳感器適合多種OEM應用。0 ~ 5 Vdc線性輸出作為標準輸出信號。

FMA3200質量流量控制器外形小巧，它利用基本的FMA3100熱式質量流量傳感器提供精確、穩定的氣體流量控制。

在斷電模式下，流量控制閥關閉，同時泄漏率zui低。

種具成本效益的控制器是眾多OEM應用的理想之選，它提供0 ~ 5 Vdc線性輸出并接收0 ~ 5 Vdc的控制輸入。

FMA3300在FMA3100流量計功能的基礎上增加了一個可調節3位半數字LCD數字顯示儀表，用于查看以工程單位（即mL/min或L/min）顯示的流量。

已經證實，這些緊湊型流量計在很多實驗室應用中*。
規格:
輸出： 0 ~ 5 Vdc（zui小值2500 ?）
輸入設定電壓
（僅FMA3200）： 0 ~ 5 Vdc
精度： 滿量程的±1.5%*
重復性： 滿量程的±0.5%
響應時間： 在滿量程的25 ~ 100%范圍大約2秒（常規）達到設定流速的±2%內
工作環境： 10 ~ 50°C (50 ~ 122°F)，無冷凝空氣
工作壓力范圍： 25°C (77°F)時達到zui大值150 psi
溫度系數： 每°C為±0.2%
壓力系數： 每psi為±0.02%
泄漏完整性： 對于外界環境，zui大值為1x10-4SCCS氦氣
輸入電源：
FMA3100和FMA3300： 12 ~ 15 Vdc，100 mA (1.5 W)
FMA3200： 12 ~ 15 Vdc，250 mA (3.75 W)
連接口： 流速達到1 L/min時，采用?"壓合接頭；流速達到5 L/min時，采用?" 壓合接頭；流速達到10 L/min時，采用?"壓合接頭
接液材質： 陽極氧化鋁、氟橡膠O形圈、304和316不銹鋼、環氧樹脂、乙縮醛壓合管接頭（標配）
量程比： 10:1
氣體： 大部分潔凈、干燥氣體（例如，空氣、氮氣、二氧化碳、氬氣、氫氣、氦氣、甲烷、氧氣）
過濾：如果氣體中含有任何顆粒物質，需要使用20微米過濾器
規格（FMA3200流量控制器）
壓差： 15 ~ 40 psi
閥門工作壽命： >1百萬次循環；閥門處于常閉狀態
閥門處的泄漏率： 0.2 SCCM或低于滿量程的2%，以較大值為準
控制量程： 50:1
遠程設定電壓： 0 ~ 5 Vdc
重量：
FMA3100： 199 g (0.44 lb)
FMA3300： 249 g (0.55 lb)
FMA3200： 386 g (0.85 lb)
不帶接頭的尺寸（近似值）：
FMA3100： 47（長）x 26（寬）x 90 mm（高）(1.87 x 1.03 x 3.55")
FMA3300： 47（長）x 26（寬）x 127 mm（高）(1.87 x 1.03 x 5.0")
FMA3200： 81（長）x 26（寬）x 97 mm（高）(3.17 x 1.03 x 3.80")

產品型號/產品描述
不帶顯示屏的型號
FMA3101 0至20 SCCM
FMA3102 0至50 SCCM
FMA3103 0至100 SCCM
FMA3104 0至200 SCCM
FMA3105 0至500 SCCM
FMA3106 0至1000 SCCM
FMA3107 0至2000 SCCM
FMA3108 0至5000 SCCM
FMA3109  0至SCCM
帶顯示屏的型號
FMA3301 0至20 SCCM
FMA3302 0至50 SCCM
FMA3303 0至100 SCCM
FMA3304 0至200 SCCM
FMA3305 0至500 SCCM
FMA3306 0至1000 SCCM
FMA3307 0至2000 SCCM
FMA3308 0至5000 SCCM
FMA3309 0至10000SCCM
控制器
FMA3202-(*) 0至50 SCCM
FMA3203-(*) 0至100 SCCM
FMA3204-(*) 0至500 SCCM
FMA3205-(*) 0至5000 SCCM
FMA3206-(*) 0至10000SCCM
推薦配件
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FMA3000C 帶插接式接頭和祼露端頭的1 m (3')電纜，與具有端子連接口的電源配合使用

注釋: * 氣體、入口／出口壓力和溫度。
** 流量范圍以干燥空氣或氮氣為基準；還提供 其它氣體（二氧化碳、氦氣、氬氣、氫氣、甲烷、氧氣）的范圍（需付額外費用）。
? 如需可選4測量點NIST校準證書，請將后綴"-NISTAIR"添加到型號中（需付額外費用）。

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